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深能級瞬態(tài)譜儀(DLTS)是檢測半導體材料和器件缺陷和雜質的最好技術手段,它可以測定各種深能級相關參數,如深能級,俘獲界面,濃度分布等。
拉曼光譜用來測試材料應力,摻雜濃度和sheet& pattem等。從散射光的能量轉移,強度和偏振等方面可以獲取樣品豐富信息,如:結晶取向,組分,機械應力,摻雜和溫度變化等。
原子力顯微鏡使用非常小的探針,掃描樣品表面,在原子尺度探測樣品形貌。Semilab的AFM設備,可靈活配置和測試,具備優(yōu)異測試穩(wěn)定性和可靠性。
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